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      低壓化學氣相沉積系統LPCVD

      簡要描述:v滿足石墨烯和碳納米管研究的高溫和快速冷卻要求v直徑200毫米的石英室v內部石英管的設計便于拆卸和清洗v基片尺寸可達直徑150毫米v三區電阻爐

      基礎信息

      產品型號

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      更新時間

      2024-10-22

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      詳細介紹

      v 滿足石墨烯和碳納米管研究的高溫和快速冷卻要求

      v 直徑200毫米的石英室

      v 內部石英管的設計便于拆卸和清洗

      v 基片尺寸可達直徑150毫米

      v 三區電阻爐,150毫米的均勻溫度區

      v 溫度可達1000°C

      v 使用節流型VAT蝶形閥下游壓力控制在50 mTorr500 mTorr之間

      v 88立方英尺/分的Ebara ESA25-D干式真空泵 - 兩級干式真空


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