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      聚焦離子束系統FIB

      簡要描述:vFIB是將離子源產生的離子束經過離子槍加速

      基礎信息

      產品型號

      廠商性質

      代理商

      更新時間

      2024-10-22

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      詳細介紹

      v FIB是將離子源產生的離子束經過離子槍加速聚焦后作用于樣品表面,應用于:產生二次電子信號取得電子像,此功能與SEM相似,用強電流離子束對表面原子進行剝離,以完成微、納米級表面形貌加工,通常是以物理濺射的方式搭配化學氣體反應,有選擇性的剝除金屬,氧化硅層或沉積金屬層

      v 芯片領域應用:IC芯片電路修改,Cross-Section 截面分析,FIB透射電鏡樣品制備,材料鑒定

      v 液態金屬離子源:分辨率3nm@30kv   120nm@1kv

      v 檢測器:Inlens SE、Inlens EsB、VPSE(可變氣壓二次電子探測器)、SESI(二次電子二次離子探測器)、aSTEM(掃描透射電子探測器)、aBSD(背散射探測器)


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